Magnetron Sputtering Coating Machine

Inuti en vakuumkammare används ett magnetiskt fält för att begränsa en glödurladdning, vilket får argonjoner att bombardera målmaterialet med höga hastigheter, målatomer sputters av och avsätts på arbetsstyckets yta för att bilda en tät tunn film-en process som klassificeras som Physical Vapor Deposition (PVD).

Utrustningsfunktioner

Kompatibel med olika typer av sputtermål
Stöder DC-, MF- och RF-magnetronförstoftningsmål, rymmer både metall- och oxidkeramiska mål, vilket möjliggör avsättning av både metalliska och isolerande dielektriska filmer.

Mekanism för substratrevolution och rotation
Arbetsstycksstället använder ett planetariskt rotationssystem, vilket gör att arbetsstyckena inuti ugnen kan rotera och rotera samtidigt, vilket säkerställer utmärkt filmtjocklekslikformighet över hela ugnsbelastningen och minimerar färgvariationer.

Låg-jonförbehandlingssystem för-låg temperatur
Utrustat med en inbyggd -jonrengöringskälla bombarderar systemet arbetsstyckets yta med plasma före beläggning för att avlägsna oljeföroreningar och oxidskikt. Den möjliggör filmavsättning vid låg-temperatur med minimal substratuppvärmning, vilket gör den lämplig för bearbetning av värme-känslig plast som ABS och PC utan att orsaka bränning eller deformation.

Oberoende vakuumenhetskonfiguration
Kombination av en turbomolekylär pump, en Roots-pump och en roterande skovelpump, vilket säkerställer en stabil pumpkurva.

Helautomatiskt PLC industriellt styrsystem
Processautomation, processrecept kan lagras och återkallas med ett klick.

Precisionskontroll av gasflöde
Använder flera Mass Flow Controllers (MFC) för att exakt reglera reaktiva gaser som argon, syre och kväve, vilket gör den lämplig för reaktiv sputtringsavsättning av oxid- och nitridkompositfilmer.

Säkerhetsförreglingsskydd
Inkluderar förreglingar för kammardörren och vakuumsystemet, samt skydd mot överbelastning, vattenbrist och strömavbrott, automatisk avstängning vid upptäckt av anomalier för att skydda målkällan och vakuumsystemet.

Dekorativ beläggning
Klockfodral, badrumsutrustning, golfklubbhuvuden, hantverk, leksaker, strålkastarreflektorer för bilar och höljen och knappar för mobiltelefoner eller hushållsapparater. Kan producera imitationer av guld, gunmetallsvart, ultra-svart och färgade dekorativa beläggningar, fungerar som ett miljövänligt-, föroreningsfritt-alternativ till traditionell vattenbaserad-elektroplätering.

Kompatibla substrat: ABS-plast, glas, keramik, kakel och olika metaller.

 

Funktionella filmer
Form och verktyg: slitstarka-skyddsbeläggningar för skärverktyg och formar/formar

Filmtjockleken är kontrollerbar och repeterbar.

Den kan på ett tillförlitligt sätt avsätta en film med förutbestämd tjocklek, och förstoftningsbeläggning kan erhålla en enhetlig filmtjocklek på en stor yta.

Filmen har stark vidhäftning mot underlaget.

Vissa hög-förstoftade atomer producerar olika grader av injektion och bildar ett pseudo-diffusionsskikt på substratet där de förstoftade atomerna och substratatomerna smälter samman.

Beredning av tunna filmer av specialmaterial.

Blandade filmer och sammansatta filmer kan framställas genom att sputtera olika material samtidigt. TiN imiterade guldfilmer kan också sputteras.

Filmen har hög renhet och den förstoftade filmen kommer inte att blandas med komponenterna i degelvärmarmaterialet.

Utrustad med jonhjälpkälla för låg-temperatur kan den bilda filmer genom kallplätering vid rumstemperatur utan uppvärmning, vilket sparar energi och elektricitet och förbättrar produktionskapaciteten.