Operativ princip:
Magnetron sputting vakuumbeläggningsmaskin är en allmänt använt fysisk ångavlagring (PVD) -teknologi. Kärnan är att använda magnetfält för att begränsa elektronrörelsen, vilket avsevärt förbättrar sputteringseffektiviteten och filmkvaliteten.
Dess kärnfunktion är användningen av magnetfält för att begränsa banan för elektronrörelse, vilket avsevärt förbättrar sputteringseffektiviteten och avsättningshastigheten.
Applikationer:
Det används ofta i hushållsapparater, klockor, golfhuvuden, konst och hantverk, leksaker, billjusreflektorer, mobiltelefonknappskal, instrument och mätare, plast, glas, keramik, plattor och andra ytdekorativa beläggningar och funktionella beläggningar för verktyg och formar.
Den har fördelar inom områdena plätering av ultralvarmfilm, ren gulddekorativ film, ledande film, etc.




















Drag:
Magnetfält begränsar elektroner
Hög joniseringshastighet, snabb deponeringshastighet, hög produktionseffektivitet
Högsprutningshastighet
Låg temperaturavsättning
Hög filmkvalitet:
Stark vidhäftning, kompakthet, god kompositionskontrollbarhet, god enhetlighet
Magnetron -sputteringsvakuumbeläggningsmaskinen uppnår hög joniseringshastighet, hög sputteringshastighet och låg temperaturavsättning på grund av dess kärnfunktion hos magnetfält som begränsar elektroner.
Detta ger betydande fördelar såsom hög avsättningseffektivitet, ett brett appliceringsområde av substrat (särskilt underlag med dålig värmemotstånd), utmärkt filmkvalitet (stark vidhäftning, densitet, kontrollerbar sammansättning, god enhetlighet) och stark processflexibilitet.
Dessa fördelar gör det till en av de föredragna eller mainstream PVD-teknologierna inom många områden som optisk beläggning, mikroelektronik/halvledare, solceller, plattpaneldisplayer, verktyg hårda beläggningar, dekorativa beläggningar, slitbeständiga och korrosionsbeständiga beläggningar och funktionella filmer.
Specifikation:
|
Magnetron sputtering vakuumbeläggningsmaskin |
|||||||
|
Modell |
CJ-600 |
CJ-800 |
CJ-1000 |
CJ-1200 |
CJ-1400 |
CJ-1500 |
CJ-1600 |
|
Kammarstorlek |
Φ600 × 800mm |
Φ800 × 1000mm |
Φ1000 × 1200mm |
Φ1200 × 1400mm |
Φ1400 × 1600mm |
Φ1500 × 1500mm |
Φ1600 × 1800mm |
|
Vakuumenhet |
KT400 diffusionspumpenhet |
KT500 diffusionspumpenhet |
KT800 diffusionspumpenhet |
KT630 diffusionspumpenhet |
Dubbel KT630 diffusionspumpenhet |
Dubbel KT630 diffusionspumpenhet |
Dubbel KT630 diffusionspumpenhet |
|
Beläggningssystem |
DC eller medelfrekvens strömförsörjning, beläggning av extra jon special strömförsörjning |
||||||
|
Inflationssystem |
Massflödesmätare |
||||||
|
Kontrollmetod |
Manual eller helautomatisk |
||||||
|
Ultimat vakuum |
5x10-3pa |
||||||
|
Anmärkning |
Ovanstående utrustningsparametrar är endast för referens och är utformade och anpassade enligt kundernas faktiska processkrav. |
||||||
Populära Taggar: Magnetron sputtering vakuumbeläggningsmaskin, porslin magnetron sputtering vakuumbeläggningsmaskin tillverkare, leverantörer, fabrik
