Magnetron Sputtering Coating Vakuum Deposition Utrustning

Kärnprincipen för vakuumavsättningsutrustning är att förånga eller jonisera materialkällan i en vakuummiljö och sedan låta de genererade atomerna, molekylerna eller jonerna avsättas på ytan av målsubstratet för att bilda en eller flera tunna filmer.

Inuti en hög-vakuumförseglad kammare, begränsar ett magnetiskt fält elektroner för att jonisera argongas, de resulterande argonjonerna bombarderar ett metall- eller oxidmål, vilket gör att målatomer sputteras av och avsätts på ytan av ett arbetsstycke som är monterat på kammarens roterande stativ, och bildar därigenom ett tätt DC-system, och bildar därmed en tjockfilm, MF. RF-förstoftning försörjer och rymmer både ledande och isolerande mål, en fler-målkonfiguration möjliggör sam-förstoftning för tillverkning av en--- och flerskiktskompositfilmer.

Utrustningsfunktioner

Beläggningskvaliteten är stabil och enhetlig, med stark vidhäftning
En planetarisk skivspelare driver arbetsstyckena att rotera genom hela kammaren, vilket säkerställer en konsekvent filmtjocklek över hela satsen och förhindrar flagning eller flagning. Beläggningarna är av hög renhet och systemet kan producera metall-, legerings- och dielektriska oxidfilmer.

Stöder låg-temperaturbeläggning och erbjuder bred substratkompatibilitet
Utrustad med en låg-temperaturjon-hjälpkälla som standard, vilket möjliggör rums-temperaturbeläggning med minimal temperaturhöjning på arbetsstycket, vilket förhindrar deformation orsakad av hög värme.

Flexibla processmöjligheter, fler-samverkan-mål
Kammaren kan konfigureras med flera magnetronmål, vilket möjliggör samtidig laddning av olika målmaterial.

Helautomatisk sluten-slingstyrning via PLC säkerställer enkel användning

Vakuumevakuering, argongasflöde, sputterkraft, rotationshastighet för skivspelaren och jonkällans parametrar styrs alla automatiskt. Systemet har en pekskärms-HMI och möjliggör förinställning av flera beläggningsrecept.

Vakuumkammare, stöder icke-standardanpassning

Enkelt underhåll, stabilt vakuumsystem

Badrumskranar, duschar, klockfodral/remmar, glasögonbågar, porslin, mobiltelefonfodral, notebookfodral, förbered olika färgade dekorativa filmer, anti-fingeravtrycksfilmer och korrosionsbeständiga-skyddsfilmer.

Hög beläggningstäthet och extremt låg porositet

Atomer avsatta via magnetronförstoftning har hög energi, vilket möjliggör stark ytrörlighet och tät packning

Praktiskt taget pinhålsfri-med minimal porositet

Korrosions- och oxidationsbeständighet som är betydligt överlägsen vakuum-förångade beläggningar

Utmärkt saltspraytestprestanda; lämpar sig för-korrosionsskydd och dekorativa applikationer på badrumsarmaturer, hårdvara och utomhuskomponenter