Arbetsprincip för multi-arc beläggningsmaskin

Multibågsbeläggningsmaskinen genererar hög temperaturplasma genom flera bågkällor (4-16), förångar metallmaterialet och avsätter det på ytan av underlaget för att uppnå effektiv beläggning (filmtjocklekens enhetlighet ± 5%). Dess kärnvakuumkammare är uppdelad i en beläggningskammare (vakuumgrad mindre än eller lika med 10^-3Pa) och en förbehandlingskammare. Den förstnämnda säkerställer en miljö med låg upphetsning, och den senare används för rengöring och polering av substrat för att förbättra vidhäftningen. De viktigaste processparametrarna inkluderar ARC-källkraft (20-200A), substrattemperatur (100-300 grad) och avsättningshastighet (1-10Nm/s), som måste justeras dynamiskt enligt substratformen (såsom komplexa krökta ytor) och material (metall/keramik). Det är lämpligt för scener som optisk lins anti-reflektionsfilm och verktyg hård beläggning.