Tätningsprestandan är en avgörande aspekt av att designa vakuumbeläggningsutrustning, eftersom dess kvalitet direkt påverkar huruvida den vakuumnivå som krävs för beläggning kan uppnås under den efterföljande dammsugningsprocessen. Om detta krav inte uppfylls kommer det direkt att påverka bildningen och kvaliteten på filmen. För att säkerställa god tätningsprestanda hos vakuumbeläggningsutrustning eller system är det långt ifrån tillräckligt att helt enkelt lokalisera och blockera läckor efter installationen. Det är nödvändigt att utföra vakuumläckagedetektering i alla stadier av design, tillverkning, driftsättning och användning av vakuumbeläggningsutrustningen eller systemet.
Designöverväganden förVakuumbeläggningsmaskin
1. Bestäm den totala maximalt tillåtna läckagehastigheten för vakuumutrustningen baserat på processkraven, och bestäm sedan den maximala tillåtna läckagehastigheten för varje komponent baserat på denna totala läckagehastighet.
2. Baserat på maximalt tillåtet läckagetal och andra indikatorer för utrustningen, bestämma preliminärt de läckagedetekteringsmetoder som ska användas under konstruktionsfasen, och använd detta som en av de grundläggande principerna för idrifttagning och acceptans.
3. Baserat på den maximalt tillåtna läckagehastighetsindikatorerna för utrustningen eller komponenterna, bestämma tätnings- och anslutningsmetoderna och den totala bearbetningsnoggrannheten för utrustningen, samt vilken dynamisk tätningstyp som kan uppfylla kraven. Till exempel om man ska använda metalltätningar eller gummitätningar för flänsar.
4. När du utformar behållarens strukturella hållfasthet, beakta tryckmotståndet och den strukturella hållfastheten som krävs för den testade komponenten om en metod för detektering av tryckläckage används.
5. När du väljer konstruktionsmaterial för komponenter, överväg om material som kan vara korroderade och skadade av arbetsmediet och läckagetestgas används.
6. Under konstruktionskonstruktionen bör nödvändiga reservgränssnitt för läckagedetekteringsinstrument finnas på behållaren eller systemet för användning under utrustningsmontering och idrifttagning. Speciellt för stora och komplexa rörsystem krävs ofta segmenterade läckagedetekteringsmetoder; därför bör segmenterade isoleringsventiler installeras på rörledningen och gränssnitt för läckagedetekteringsinstrument bör reserveras på varje isoleringssegment.
7. Undvik designscheman som kan störa läckagedetektering när du designar de strukturella komponenterna. Till exempel bör inte blinda hål användas för skruvhål i vakuumkammaren, eftersom efter att skruven har installerats kan gasen i det återstående utrymmet inuti skruvhålet bara strömma ut genom gänggapet och bilda en falsk läcka. Detta förlänger systemets evakueringstid och stör normal läckagedetektering. Se diagrammet för strukturer som inte bör uppträda i vakuumläckagedetektering.
8. På liknande sätt är kontinuerliga dubbel-svetsar och fler-tätningsringstrukturer inte tillåtna i den strukturella designen, eftersom dessa kommer att skapa en "parasitisk volym" i mitten, vilket gör att gasen inomhus läcker. Dessutom, när både de inre och yttre svetsarna eller tätningsringen läcker samtidigt, gör den "parasitära volymen" svarstiden för den läckande gasen att passera genom den dubbel-skiktade svetsen för lång, vilket gör normal läckagedetektering omöjlig.
9. Vid konstruktion av svetsade strukturer, minimera antalet svetsar som inte kan upptäckas för läckor efter slutmontering.
Ovanstående punkter är försiktighetsåtgärder för läckagedetektering i vakuumbeläggningsutrustning. Kvaliteten på tätningsprestandan avgör direkt om utrustningen framgångsrikt kan accepteras och om dess kvalitet uppfyller standarderna.
