Vakuumbeläggningsmaskinavser främst en typ av beläggning som behöver utföras under en relativt hög grad av vakuum, inklusive många typer, inklusive vakuumjonförångning, magnetronförstoftning, MBE molekylär strålepitaxi, PLD laserförstoftningsdeposition, etc. Huvudtanken är att dela upp det i två typer: förångning och sputtering.
Gradientfärgprocessen använder i allmänhet magnetronförstoftningsbeläggningsutrustning. För närvarande använder gradientfärgshöljena på många mobiltelefonmodeller som Huawei och Lenovo PVD-vakuumgradientbeläggningsprocessen.
Magnetronförstoftning är en typ av fysisk ångavsättning (Physical Vapour Deposition, PVD). Den allmänna sputtermetoden kan användas för att förbereda metaller, halvledare, isolatorer och andra material, och har fördelarna med enkel utrustning, enkel kontroll, stor beläggningsyta och stark vidhäftning.
Den magnetronförstoftningsmetod som utvecklades på 1970-talet har uppnått hög hastighet, låg temperatur och låg skada. Eftersom hög-förstoftning utförs under lågt tryck, måste gasjoniseringshastigheten ökas effektivt. Magnetronförstoftning introducerar ett magnetiskt fält till ytan av målkatoden och använder magnetfältet för att begränsa laddade partiklar för att öka plasmadensiteten för att öka förstoftningshastigheten.
Magnetron sputtering vakuumbeläggningsmaskin är den mest använda utrustningen för att belägga befintliga produkter under vakuumförhållanden. En komplett magnetronförstoftande vakuumbeläggningsmaskin är sammansatt av flera delar av systemet. Varje system kan utföra olika funktioner för att uppnå den slutliga beläggningen av-hög kvalitet. Komponenterna i magnetronförstoftningsbeläggning inkluderar vakuumkammare, mekanisk pump, vakuumtestsystem, oljediffusionspump, vakuumsystem, kondensationspump, filmbildningskontrollsystem, etc.
Huvuddelen av magnetronförstoftningsvakuumbeläggningsmaskinen är vakuumkammaren. Storleken på vakuumkammaren bestäms av de bearbetade produkterna. Storleken på magnetronförstoftningsbeläggningen kan anpassas. Kammaren är vanligtvis gjord av rostfritt stål och måste vara stark, hållbar och rostfri-. Vakuumkammaren för magnetronförstoftningsbeläggning har många anslutningsventiler för att ansluta olika hjälppumpar.
Styrsystemet för bildandet av magnetronförstoftande beläggningsfilm kan anta olika metoder, såsom fast pläteringstid, visuell inspektion, extrem övervakning och kristallvibrationsövervakning. Vakuumbeläggningsmaskiner och beläggningsmetoder för vakuumbeläggningsmaskiner är också indelade i olika processer. Vanligt använda sådana inkluderar jonförångningsbeläggning och magnetronförstoftningsbeläggning. Filmskiktet pläterat med magnetronförstoftning har stark vidhäftning och hög renhet och kan sputtera en mängd olika material med olika sammansättningar samtidigt.
