I magnetronförstoftande vakuumbeläggningsmaskiner kallas materialet som ska beläggas substratet, och materialet som beläggs kallas målet. Både substratet och målet finns i vakuumkammaren. Avdunstningsbeläggning involverar typiskt uppvärmning av målet för att förånga ytkomponenter i form av atomkluster eller joner. Dessa förångade komponenter avsätts sedan på substratets yta och bildar en tunn film genom en-filmbildande process (spridd-östruktur-vandrande struktur-lagertillväxt).
För förstoftande beläggningar kan det helt enkelt förstås som att man använder elektroner eller hög-energilasrar för att bombardera målet, förstoftning av ytkomponenter till atomkluster eller joner, som sedan avsätts på substratytan och genomgår en film-bildande process för att slutligen bilda en tunn film.
Driftsprocedurer: Manövrering av styrskåp
1. Slå på vattenpumpen och lufttillförseln.
2. Slå på huvudströmförsörjningen.
3. Slå på strömmen till hållarpumpen och vakuummätaren. Ställ in vakuummätaren i V1-läge och vänta tills värdet är mindre än 10 innan du fortsätter till nästa steg. Detta tar cirka 5 minuter.
4. Slå på den mekaniska pumpen för för-evakuering. Slå på turbomolekylärpumpen och starta den. Ställ omkopplaren för vakuummätaren till V2 och evakuera tills värdet är mindre än 2. Detta tar cirka 20 minuter.
5. När avläsningen av turbomolekylär pump når 250, stäng av för-evakueringen. Slå på förpumpen och högvakuumventilen för att fortsätta evakueringen. Först efter att ha uppnått en viss vakuumnivå kan du slå på högvakuummätaren till höger och observera vakuumgraden. Elektronpistolens ström kan bara slås på efter att vakuumet når 2 × 10⁻³.
DEF-6B Drift:
1. Huvudström.
2. Sätt samtidigt på Electron Gun Control I och Electron Gun Control II: Tryck på ström- och fördröjningsbrytaren för Electron Gun Control I. Lamporna för fördröjning, ström och skydd kommer att tändas. Efter tre minuter släcks fördröjnings- och skyddslamporna. Om den bakre luckan inte är ordentligt stängd eller om vattenflödesreläet inte fungerar, kommer skyddslampan att förbli tänd.
3. Slå på högspänningen. Högspänningen kommer att nå över 10KV. Justera strålströmmen till cirka 200mA. Skärmnätet är 20V/100mA, glödtrådsströmmen är 1,2A och avböjningsströmmen varierar mellan 1 och 1,7A.
