Vakuumförångning: Principen är att värma filmmaterialet med en förångare under vakuumförhållanden för att förånga eller sublimera det, och sedan skjuts det förångade partikelflödet direkt mot substratet, där det avsätts för att bilda en fast film. Förångning är också uppdelad i elektronstråleförångning, motståndsförångning, induktionsförångning, etc.
Jonplätering: Jonplätering hänvisar i allmänhet till en beläggningsmetod som genererar ett stort antal joner under beläggningsprocessen. Under filmbildningsprocessen bombarderas substratet konstant med hög-energipartiklar, vilket resulterar i ett mycket starkt filmskikt med utmärkt styrka och vidhäftning. När jonplätering används för att skapa hög-precisionsfilmer kan stora jonpartiklar filtreras bort, vilket resulterar i en mycket strukturerad och tät film.
De vanligaste beläggningsteknikerna för vakuumbeläggningsutrustning i det dagliga livet är dessa tre. Vilken som ska väljas beror på vilket filmskikt som ska beläggas och vilket arbetsstycke som ska beläggas.
