Vakuumbeläggningsutrustningstöter ofta på oväntade situationer under drift, såsom vattenavbrott, strömavbrott och luftläckor. När de står inför dessa situationer kan operatörerna vara vilse och osäkra på hur de ska hantera dem. Nedan kommer Puyuan Vacuum att tillhandahålla en detaljerad nödplan för driften av vakuumbeläggningsutrustning:
1. PVD-beläggningsutrustning kräver rengöring efter en tids drift.
Efter en driftsperiod, typiskt 50 till 70 ugnscykler, behöver PVD-beläggningsutrustningen rengöras för att avlägsna damm från ugnen. Kör sedan ugnen en gång utan belastning. Proceduren innefattar att först evakuera ugnen till en vakuumnivå som är högre än 10⁻² Pa, sedan upphettning till en temperatur som vanligtvis är 20 grader högre än den normala driftstemperaturen. Håll denna temperatur på högsta möjliga nivå i minst en timme och låt den sedan svalna naturligt. Denna process håller det inre utrymmet i vakuumbeläggningsutrustningen rent.
2. Byte av gascylindern
När gasflaskan som används i vakuumbeläggningsutrustningen behöver bytas ut, ta bort tryckregleringsventilen och byt ut den mot en ny cylinder. Se till att det inte finns några läckor under installationen. Efter byte av cylindern, innan arbetsstycket värms upp, bör ugnen tömmas under evakueringsprocessen för att avlägsna all luft som fastnat i rörledningen under cylinderbytet, och hålla spolningsrörledningen ren.
3. Applicera en liten mängd smörjolja på roterande delar.
Applicera en liten mängd vakuumpumpolja på de roterande delarna för smörjning. Se till att vakuumpumpen är ren, fri från järn, sand och damm. Säkerställ god kontakt i positioneringssystemet. Vakuumpumpen ska rotera lätt utan ojämnheter eller allvarliga blockeringar.
4. Plötsligt luftläckage upptäckt under normal drift
Om ett plötsligt luftläckage upptäcks under normal drift, och läckpunkten kan lokaliseras omedelbart, måste den tätas med vakuumtätningsmedel. Ytterligare reparationer kan göras efter att det aktuella arbetet är avslutat. Om läckan inte kan lokaliseras ska arbetet omedelbart avbrytas och reparationer utföras.
5. Vatten- och strömavbrott under höga temperaturer
Vakuumutrustning är mest sårbar för vatten- och strömavbrott under höga temperaturer. Därför bör användare helst installera en reservvattentank eller ansluta den till en kranvattenkälla under installationen av utrustningen. Om utrustningen råkar ut för ett vatten- eller strömavbrott under höga temperaturer ska alla pumpar och ventiler stängas. Operatörer bör omedelbart ansluta reservvattenförsörjningen eller kranvatten till vatten-kyla utrustningen. Om strömmen inte kan återställas snabbt, bör den manuella uppblåsningsventilen på uppblåsnings-/tömningssystemet öppnas för att blåsa upp utrustningen för skydd, med ett uppblåsningstryck på ungefär -0,02 MPa. Vrid sedan alla knappar på kontrollskåpet till "av"-läget. Applicera samtidigt en fuktig handduk på elektrodavledningsgränssnittet och byt ut det regelbundet för att förhindra överhettning av elektrodgränssnittet och skador på tätningsringen.
Som ingenjör som arbetar med vakuumbeläggningsutrustning är det viktigt att behärska nödberedskapsplaner. Oväntade situationer kan uppstå under drift, och tidiga ingripanden är avgörande för att förhindra onödiga förluster.
