1. Vakuumkammare
Vakuumkammaren är kärndelen av vakuumbeläggningsmaskinen. Dess huvudfunktion är att skapa en vakuummiljö och hålla beläggningsprocessen i ett vakuumtillstånd. Vakuumkammaren är vanligtvis tillverkad av rostfritt stål eller aluminiumlegeringsmaterial, med hög vakuumtätning och korrosionsbeständighet.
2. Pumpsystem
Pumpsystemet är en av de viktigaste komponenterna i vakuumbeläggningsmaskinen. Det är huvudsakligen ansvarigt för att extrahera gasen i vakuumkammaren för att få vakuumgraden att nå den erforderliga examen. Pumpsystemet består vanligtvis av molekylpumpar, mekaniska pumpar och diffusionspumpar. Olika pumpkombinationer kan uppnå olika vakuumgrader och pumphastigheter.
3. Substratklämningsanordning
Substratklämningsanordningen är en annan viktig komponent i vakuumbeläggningsmaskinen. Det används för att fixa substratmaterialet som ska beläggas och styra dess position och rörelsesbana. Substratklämningsanordningen består vanligtvis av en roterande bord, en lyftmekanism och en substratklämma. Olika klämmor kan anpassa sig till underlag i olika former och storlekar.
4. Uppvärmningssystem
Värmesystemet är en nödvändig komponent i vakuumbeläggningsmaskinen. Det kan värma underlaget och beläggningsmaterialet för att främja bildningen av beläggningen och förbättra dess kvalitet. Värmesystemet implementeras vanligtvis av resistenstråd, elektromagnetisk uppvärmning, induktionsvärme och andra metoder.
5. Beläggningskälla
Beläggningskällan är den sista komponenten i vakuumbeläggningsmaskinen. Det används för att tillhandahålla materialet som måste beläggas, vanligtvis inklusive metaller, keramik, kisel och andra material. Beläggningskällan kan avsätta materialet på underlaget med elektronstråle, indunstning, sputtering och andra metoder för att bilda den nödvändiga beläggningen.
Sammanfattning: Vakuumbeläggningsmaskinen är en enhet som används för att tillverka beläggningar av hög kvalitet, där vakuumkammaren, pumpsystemet, underlagsutrustning, värmesystem och beläggningskälla är dess huvudkomponenter. Dessa komponenter arbetar tillsammans för att slutföra beläggningsprocessen.
